潔凈室系統竣工性能測試及單項系統測試準則

一．FFU泄漏(filter??leakage)測試?

1.?先啟動(dòng)待測試之FFU,并調整其風(fēng)量維持在設計范圍內?

2.?Particle?counter?所附之探測棒須空氣過(guò)濾器下方5cm以1.5cm速度沿空氣過(guò)濾器出風(fēng)面作有規律掃描。

3.?每HEPA?或ULPA之出風(fēng)表面均須測試。

4.?若測得其Particle超過(guò)其要求Filter之規定或出現相關(guān)之不允許Particle則說(shuō)明該FFU有泄露，破壞之處須以silicon來(lái)修補。

二．FFU風(fēng)速（air??flow??velocity）測試?

1.?可分層流區及非層流區來(lái)測試。

2.?須對每片filter?測量及測試不少于5個(gè)點(diǎn)求其平均風(fēng)速值。（其四角和中心區域各測試一處）

3.?測量高度為1.2米或1.5米的假定工作面。

4.?層流區平均風(fēng)速須達到0.35m/s+_20%,非層流區平均風(fēng)無(wú)須達到0.45m/s+_20%.

三．FFU氣流平行度(air??flow??parallelism)測試?

1.?本項目?jì)H對全面層流區實(shí)施

2.?依高架地面或地面上方1.2米或1.5米處之絲線(xiàn)偏離以計算之偏離角度。

3.?偏離角度不得大于14度。

四．潔凈度（Air??borne??particle??count）測試?

1.?測試前須先確定潔凈室內所有工程均已完成并已經(jīng)正常運轉。

2.?測量高度為1.2米或1.5米的假定工作面或由業(yè)主與承商共同協(xié)商定之。

3.?測試點(diǎn)數不少于潔凈室之面積的平方根個(gè)或由業(yè)主與承商共同協(xié)商定之。

4.?測量器具為粒子計數器（particle??counter）

五．室內壓力（Room??pressurization）測試?

1.?利用微壓差計由最內房間向外逐一測試。

2.?測試前確保潔凈室之所有門(mén)窗等為關(guān)閉狀態(tài)。

3.?每房間至少測試一點(diǎn)。

4.?測量高度為1.2米或1.5米的假定工作面或由業(yè)主與承商共同協(xié)商定之。

六．溫濕度測試?

1.?利用溫濕度計測試測試前確認風(fēng)速已測試完成且空調系統運轉24小時(shí)后開(kāi)始測試。

2.?每個(gè)空調溫控區至少有一個(gè)測試點(diǎn)。（原文 ）

3.?測量高度為1.2米或1.5米的假定工作面或實(shí)踐的全部數量及位置可有業(yè)主與承商共同協(xié)商定之。保證每50平米至少有五個(gè)測試點(diǎn)。

七．環(huán)境噪音測試?

1.?利用聲級計測試，每40平米及每一獨立房間須測量一點(diǎn)。

2.?須啟動(dòng)潔凈室所有相關(guān)空調設備，但其它設備為停止狀態(tài)。

3.?所測量值不得超過(guò)設計及業(yè)主規定。

5.?測量高度為1.2米或1.5米的假定工作面或由業(yè)主與承商共同協(xié)商定之。

八．氣密性(Enclosure??infilteation??leak)測試?

1.?鐘對潔凈室內門(mén)窗?所有建筑結構可能得縫隙及管道間與所有管線(xiàn)進(jìn)入潔凈室的接縫。

2.?可采用漏光法或感觀(guān)觸摸等方法檢測。

九．照度測試?

1.?采用照度儀測試，所有測試點(diǎn)數，位置，高度可由業(yè)主與承商共同協(xié)商定之。一般為距地面1.2米或1.5米的假定工作面。

2.?日光燈系統至少運轉100小時(shí)白彘燈須連續20小時(shí)以及潔凈室相關(guān)設備系統至少運轉2小時(shí)或室內溫度已達到穩定狀態(tài)后才能測試。

十．地板及墻板靜電測試?

1.?采用高阻表測計，測試前須用相關(guān)溶液擦洗。

2.?地板一般測試”+”?”-“兩極間距至少>=600mm,或按每36平方米一個(gè)測試點(diǎn)為原則進(jìn)行測試。

3.?墻板一般測試”+”?”-“兩極間距至少>=900mm,或按每36平方米一個(gè)測試點(diǎn)為原則進(jìn)行測試。

4.?地板表面電阻一般為1.0*104~~1.0*106奧姆。

? 墻面電阻一般為1.0*106~~1.0*108奧姆。