目前，潔凈車(chē)間已廣泛應用于各個(gè)行業(yè)，以防止顆粒污染或其他要求，防止顆粒污染，控制微生物污染環(huán)境。無(wú)塵車(chē)間目前級別最高的當屬航天航空的航空倉，基本是屬于1級，屬于特殊領(lǐng)域，面積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實(shí)驗室和高精納米材料生產(chǎn)車(chē)間，物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來(lái)需求的一大方向。潔凈室對于凈化空調系統的加濕問(wèn)題而言，常用的加濕方法有很多種，有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕，這些加濕方法屬等焓加濕過(guò)程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極（電熱）加濕是向空調送風(fēng)中噴蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕過(guò)程。無(wú)塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過(guò)濾器三級過(guò)濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過(guò)濾器代高效空氣過(guò)濾器。由于不同行業(yè)的產(chǎn)品特點(diǎn)不同，不同產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程不同，使用要求也不同，環(huán)境控制的內容和指標也不一樣。無(wú)塵車(chē)間的環(huán)境治理內容應包括：空氣凈化、潔凈建筑、直接接觸水、氣、化工產(chǎn)品及生產(chǎn)設備、工業(yè)設備等污染物控制、微振動(dòng)、噪聲、靜電控制、預防等。因此，無(wú)塵車(chē)間的設計不僅要求室內空氣凈化達到規定的空氣潔凈度等級，而且還必須防止建筑材料和無(wú)塵車(chē)間裝修不當造成的污染。一些無(wú)塵車(chē)間還要求供應超純水、超純氣體和高純度化學(xué)品.

1.半導體集成電路所需的空氣潔凈度

集成電路生產(chǎn)環(huán)境對空氣潔凈度的要求主要取決于集成電路的集成。不同工藝中的空氣潔凈度水平取決于可能污染的可能性和設備的潛在故障。

舉例說(shuō)明：

例1、一廠(chǎng)前集成電路工藝潔凈廠(chǎng)，無(wú)塵車(chē)間按加工設計，生產(chǎn)6英寸硅片，1米集成電路，圖形專(zhuān)用直尺雨1.0 um，控制顆粒尺寸0。....1

潔凈室空氣潔凈度等級要求：

光刻，膠水區ISO 3

離子注入、蝕刻CVD、外延和擴散的ISO 3級操作區

離子注入、蝕刻cvd、擴展、擴散等。維修區5

例2、潔凈廠(chǎng)房前的集成電路、無(wú)塵車(chē)間設計生產(chǎn)5英寸硅片、256 K集成電路、圖形專(zhuān)用尺雨2.0um。粒徑控制在0.2um左右。該工藝旨在生產(chǎn)5英寸硅片、256 K集成電路，并控制粒度為0.2μm。

潔凈室空氣潔凈度等級要求：

光刻和調平區的ISO 3級

離子注入，蝕刻cvd，外延，擴散等。操作區域4

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維護領(lǐng)域ISO 6。

2.某些電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度

隨著(zhù)信息技術(shù)的發(fā)展，許多電子產(chǎn)品的性能和質(zhì)量的提高，以及生產(chǎn)過(guò)程的小型化，對生產(chǎn)環(huán)境進(jìn)行一定程度的空氣潔凈和控制供給的要求越來(lái)越高。無(wú)塵車(chē)間工藝生產(chǎn)所需各種高純材料的質(zhì)量。目前國內外電子產(chǎn)品沒(méi)有統一的供氣方式。根據《空氣潔凈度等級統一規定》或《生產(chǎn)環(huán)境控制要求》，各類(lèi)電子產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)根據產(chǎn)品品種、生產(chǎn)工藝、產(chǎn)品特點(diǎn)，確定設計建造無(wú)塵車(chē)間的空氣潔凈度等級。生產(chǎn)工藝設備、生產(chǎn)用原輔材料及無(wú)塵車(chē)間實(shí)際操作經(jīng)驗。

舉例說(shuō)明：

例如，在生產(chǎn)薄膜晶體管彩色液晶顯示器的無(wú)塵車(chē)間中，tft-lcd具有尺寸小、質(zhì)量輕、攜帶方便、功耗低、色彩逼真、容量大、分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。