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凈化工程潔凈技術(shù)是一個(gè)新興的科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域,是跨學(xué)科、跨部門(mén)、跨學(xué)科的綜合性科技新分支。無(wú)塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應采用初效、中效、高效空氣過(guò)濾器三級過(guò)濾。100000級空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過(guò)濾器代高效空氣過(guò)濾器。凈化工程指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使