發(fā)布時間:2023-09-05 21:45:41 人氣:3771
(一)清潔室之等級
世界各國均有自定規(guī)格,但普遍還是用美國聯(lián)邦標準209為多,以下僅就209D及209E跟世界上其它各國制訂標準作介紹與彼此比較。凈化設(shè)備能夠吸附、分解或轉(zhuǎn)化各種空氣污染源、空氣污染物【室內(nèi)生物性污染。主要包括細菌、真菌、霉菌、病毒、塵螨、花粉、寵物皮屑、生物體有機成分等),有效提高空氣清潔度的產(chǎn)品,目前以清除室內(nèi)空氣污染的家用和工業(yè)凈化設(shè)備為主。
209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位,清潔室等級以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3….依此類推,配合國際公制單位之標準化,M字母后之阿拉伯數(shù)量字是以每破方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)量字以10的冪次方表示,取指數(shù)為之,若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。 清潔網(wǎng)z:Wg1pj
美國聯(lián)邦標準FS 209D都以英制每破方英呎為單位,日本則是采取公制,即以每破方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數(shù)標準。日本標準之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等級為Class 1,最差則為Class 8,以每破方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方,取其指數(shù)而得。
(二)清潔室之定義
清潔室(Clean Room),亦稱為無塵室或清潔室。 「清潔室」是指將一定空間范疇內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之沾染物消除,并將室內(nèi)之溫度、清潔度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流散布、噪音振動及照明、靜電把持在某一須要范疇內(nèi),而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不管外在之空氣前提如何變更,其室內(nèi)均能俱有堅持原來所設(shè)定請求之清潔度、溫濕度及壓力等機能之特點。
清潔室最重要之作用在于把持產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的清潔度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間咱們稱之為「清潔室」。
(三)清潔室控管之名目
1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。
2. 能避免微塵粒子之產(chǎn)生。
3. 溫度跟濕度之把持。
4. 壓力之調(diào)節(jié)。
5. 有害氣體之消除。凈化等級塵粒最大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù),500,≥5μm塵粒數(shù)0,微生物最大允許數(shù)浮游菌/立方米5,沉降菌/皿1。
6. 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。
7. 靜電之防制。
8. 電磁煩擾防備。
9. 保險因素之考慮。
10. 節(jié)能之考量。
(四)清潔室之分類1.亂流式(Turbulent Flow)
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與清潔室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入清潔室,并由清潔室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型活動而呈不規(guī)矩之亂流或渦流狀況。此型式實用于清潔室等級1,000-100,000級。
優(yōu)點結(jié)構(gòu)簡單、體系建造本錢,清潔室之裁減比較輕易,在某些特別用處場合,可并用無塵工作臺,進步清潔室等級。
毛病亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易沾染制程產(chǎn)品。另外若體系結(jié)束運行再激活,欲達須要之清潔度,往往須耗時相稱長一段時光。 2.層流式(Laminar)
層流式空氣氣流活動成一均勻之直線形,空氣由籠罩率100%之過濾器進入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風,此型式實用于清潔室等級需定較高之環(huán)境利用,個別其清潔室等級為Class 1~100。其型式可分為二種
(1)水平層流式水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風體系回風,塵埃隨風向排出室外,個別在下賤側(cè)沾染較重大。
優(yōu)點結(jié)構(gòu)簡單,運行后短時光內(nèi)即可變成牢固。
毛病建造用度比亂流式高,室內(nèi)空間不易裁減。
(2)垂直層流式房間天花板完全以ULPA過濾器籠罩,空氣由上往下吹,可得較高之清潔度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可疾速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。
優(yōu)點治理輕易,運行開端短時光內(nèi)即可達牢固狀況,不易為作業(yè)狀況或作業(yè)人員所影響。
毛病結(jié)構(gòu)用度較高,彈性應(yīng)用空間艱苦,天花板之吊架相稱占空間,維修調(diào)換過濾器較麻煩。 3.復(fù)合式(Mixed Type)
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可供給局部超清潔之空氣。
(1)清潔隧道(Clean Tunnel)以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%籠罩使清潔度等級進步至10級以上,可節(jié)儉裝置運行用度。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品跟機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品德,ULSI制程大都采取此種型式。
清潔隧道另有二項優(yōu)點A.彈性裁減輕易; B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易履行。
(2)清潔管道(Clean Tube)將產(chǎn)品流程經(jīng)過的主動生產(chǎn)線包抄并沾染處理,將清潔度等級提至100級以上。凈化設(shè)備能夠吸附、分解或轉(zhuǎn)化各種空氣污染源、空氣污染物【室內(nèi)生物性污染。主要包括細菌、真菌、霉菌、病毒、塵螨、花粉、寵物皮屑、生物體有機成分等),有效提高空氣清潔度的產(chǎn)品,目前以清除室內(nèi)空氣污染的家用和工業(yè)凈化設(shè)備為主。因產(chǎn)品跟作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境彼此隔離,少量之送風即可得到良好之清潔度,可節(jié)儉能源,不需人工的主動化生產(chǎn)線為最適合利用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均實用。
(3)并裝局部清潔室(Clean Spot)將清潔室等級10,000~100,000之亂流清潔室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的清潔度等級進步為10~1000級以上,認為生產(chǎn)之用;清潔工作臺、清潔工作棚、清潔風柜即屬此類。
清潔工作臺等級Class 1~100級。
清潔工作棚為在亂流式之清潔室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采取獨破之HEPA或ULPA及空調(diào)送風機組而成為一較高等之清潔空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,籠罩面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性應(yīng)用。