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發(fā)布時(shí)間:2023-07-28 21:44:16 人氣:2032
每破方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量把持在3500個(gè)以下,就達到了國際無(wú)塵標準的A級。目前利用在芯片級生產(chǎn)加工的無(wú)塵標準對灰塵的請求高于A(yíng)級,這樣的高標重要被利用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數量被嚴格把持在每破方米1000個(gè)以?xún)?,這也就是業(yè)內俗稱(chēng)的1K級別。
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