發(fā)布時(shí)間:2023-09-02 21:44:06 人氣:1022
潔凈室的檢測技巧
核心提示:1。凈化工程指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設計施工過(guò)程即可稱(chēng)為凈化工程。潔凈車(chē)間一個(gè)應用行業(yè)非常廣泛的基礎性配套產(chǎn)業(yè),(21世紀)在電子信息、半導體、光電子、精密制造、醫藥衛生、生物工程、航天航空、汽車(chē)噴涂等眾多行業(yè)均有應用,并根據行業(yè)的精密與無(wú)塵要求,等級差別也較大。無(wú)菌車(chē)間大部分凈化廠(chǎng)房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠(chǎng)房都有嚴格的恒溫、恒濕的要求,不僅對廠(chǎng)房?jì)鹊臏?、濕度有嚴格的要求,而且對溫度和相對濕度的波?dòng)范圍也有嚴格的要求。供氣量和排氣量2.區域之間的氣流控制3.過(guò)濾器泄漏檢測4.隔離泄漏檢測5.室內氣流控制6.懸浮顆粒濃度和微生物濃度
1。送風(fēng)量和排風(fēng)量:如果是湍流潔凈室,則需要測量送風(fēng)量和排風(fēng)量。如果是單向流動(dòng)的潔凈室,應測量風(fēng)速。
2、區與區之間的氣流控制:為了證明區與區之間的氣流方向正確,即從潔凈區到潔凈差的地區,必須檢測:每個(gè)區間的壓力差是正確的;在門(mén)或墻的開(kāi)口、地板等處,氣流方向是正確的,即從潔凈區域到潔凈較差的區域。
3.過(guò)濾器泄漏檢測:檢查高效過(guò)濾器及其外框,確保懸浮污染物不會(huì )通過(guò):損壞的過(guò)濾器;過(guò)濾器與外框之間的間隙;過(guò)濾器單元的其他部分進(jìn)入腔室。
4.隔離泄漏檢測:該測試用于證明懸浮污染物不會(huì )通過(guò)建筑材料滲透到潔凈室。
5。室內氣流控制:氣流控制試驗的類(lèi)型取決于潔凈室的氣流流型是湍流的還是單向的。如果潔凈室的氣流是湍流的,則需要確認潔凈室內沒(méi)有氣流不足。如果是單向流潔凈室,必須驗證整個(gè)房間的風(fēng)速和風(fēng)向符合設計要求。
6、懸浮粒子濃度和微生物濃度:如果上述測試符合要求,那么最終測量出粒子濃度和微生物濃度,以確認它們符合潔凈室設計的技術(shù)條件。