發(fā)布時(shí)間：2023-07-14 21:43:43 人氣：659
濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。凈化等級塵粒最大允許數/立方米≥0.5μm塵粒數,500，≥5μm塵粒數0，微生物最大允許數浮游菌/立方米5，沉降菌/皿1。絕對濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì )結露，假如產(chǎn)生在精巧裝置或電路中，就會(huì )引起各種事變。絕對濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片名義粘著(zhù)的灰塵化學(xué)吸附在名義耐難以清除。絕對濕度越高,粘附的難去掉，但當絕對濕度低于30%時(shí)，又因為靜電力的作用使粒子也輕易吸附于名義，同時(shí)大量半導體器件輕易產(chǎn)生擊穿。對硅片生產(chǎn)最佳溫度范疇為35—45%。
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