電子凈化工程中對車間環(huán)境的特殊要求電子凈化工程中對車間環(huán)境的特殊要求
? ? ? ?電子凈化工程的建設(shè)是要為電子產(chǎn)品的生產(chǎn)提供可靠的環(huán)境條件,生產(chǎn)環(huán)境與電子產(chǎn)品生產(chǎn)有著
密切的關(guān)系,合適的生產(chǎn)環(huán)境,可以提高產(chǎn)品的性能、成品率及可靠性,否則會對產(chǎn)品生產(chǎn)造成較大
的影響。主要的環(huán)境要求有:
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(1) 空氣潔凈度要求
? ? ? 空氣潔凈度是表示空氣潔凈程度的指標(biāo),主要有兩個(gè)指標(biāo):空氣中塵埃微粒的濃度和空氣中塵埃微粒的粒徑。空氣的潔凈度是電子產(chǎn)品、尤其是微電子生產(chǎn)非常重要的條件之一,空氣潔凈度不達(dá)標(biāo),會直接對產(chǎn)品或工件造成污染,影響產(chǎn)品的性能、成品率、可靠性及壽命??諝獾臐崈舳戎饕績蓚€(gè)
方面來保證,一方面建筑密閉性能、易潔性、保溫性能是潔凈廠房的基本條件,另一方面是在此基礎(chǔ)
上凈化空調(diào)等機(jī)電系統(tǒng)的共同作用保證空氣潔凈度達(dá)到規(guī)定的要求。一般而言,各類電子工程結(jié)合生
產(chǎn)要求和造價(jià)等多方面的因素,根據(jù)生產(chǎn)工藝流程設(shè)置不同面積和等級的凈化車間,隨著工藝要求的
嚴(yán)格程度,凈化等級由外到內(nèi)逐級提高。
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(2) 空調(diào)恒溫恒濕要求
? ?恒溫恒濕包含了對溫、濕度基數(shù)與容許變化范圍的要求,室內(nèi)溫度的高低及變化的大小,對電子產(chǎn)品生產(chǎn)及運(yùn)行有著很大的影響,室內(nèi)溫度對電子產(chǎn)品及其生產(chǎn)的影響溫度條件影響溫度變化過大由于熱膨脹,使元器件、電路接點(diǎn)、精密設(shè)備儀器、機(jī)械構(gòu)件的溫度系數(shù)改變,造成尺寸變化、位置偏移、
機(jī)構(gòu)變形,影響產(chǎn)品的性能、成品率、可靠性及使用壽命溫度過高操作人員容易出汗,易造成污染;
影響操作人員的工作情緒,影響產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)效率;電子元器件容易損壞、性能惡化;電子計(jì)算機(jī)
等電子設(shè)備易發(fā)生誤動作;電機(jī)、變壓器繞阻溫度升高,超過允許限度即會燒毀;絕緣材料容易老化、
變形和脫裂,絕緣性能降低溫度過低因溫度系數(shù)改變,影響元器件的電氣性能和成品率;影響精密電
子設(shè)備及儀器的穩(wěn)定性,金屬和塑料絕緣會因?yàn)槭湛s系數(shù)改變產(chǎn)生接觸不良、密封開裂、焊點(diǎn)連接失
敗等問題空氣濕度對電子產(chǎn)品生產(chǎn)的影響,
主要有以下5個(gè)方面:
1) 影響電子設(shè)備及元器件產(chǎn)品的性能。濕度過大,電子元器件易引起漏泄通路、漏電、擊穿及材料老化等變化;工件(如硅片)表面沾附的塵粒難以去除:電氣絕緣材料容易受潮,降低絕緣性能。而濕度
過低,又易使塑料、絕緣材料等干燥收縮、變形、甚至龜裂。
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2) 濕度大,易在精密電子、機(jī)械設(shè)備(如電子計(jì)算機(jī)、大功率發(fā)射機(jī)、高頻感應(yīng)電爐等)內(nèi)部及工作表面產(chǎn)生凝結(jié)水(即結(jié)露),影響設(shè)備內(nèi)部元器件的性能及工作穩(wěn)定性,甚至引起泄露、斷路等問題。
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3) 當(dāng)濕度超過一定的臨界值時(shí),則將加速金屬的腐蝕。
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4) 濕度低,容易產(chǎn)生靜電。一般而言,空氣的相對濕度不宜低于40%。
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5) 濕度影響操作人員的工作情緒,影響產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
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因此,電子工廠特別是精密電子產(chǎn)品的生產(chǎn)工廠,均對室內(nèi)溫度和濕度有不同程度的要求。為了保證達(dá)
到相應(yīng)的恒溫恒濕標(biāo)準(zhǔn),建筑物的維護(hù)結(jié)構(gòu)和空調(diào)的自控功能效果都至關(guān)重要。
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(3) 防微振要求
? ? 振動對電子產(chǎn)品、特別是高精密產(chǎn)品的生產(chǎn)影響很大。即使每秒幾十微米的振動速度,也會對生產(chǎn)
造成很大的危害。振動對電子產(chǎn)品的影響,主要有以下幾個(gè)方面: 影響加工精度及測試精度,影響產(chǎn)
品成品率;影響設(shè)備儀器正常工作及使用壽命;影響設(shè)備儀器零部件(或元器件)的性能,甚至造成裂損
破壞;造成零件磨損或損壞,影響精度及使用壽命;易使設(shè)備儀器內(nèi)部的零部件、元器件松動,影響
正常工作。生產(chǎn)環(huán)境中的振動,除廠房外部的振源(如交通車輛、機(jī)械設(shè)備、建筑施工等)以及內(nèi)部振源
(如運(yùn)輸車輛、機(jī)械設(shè)備、人員走動等)以外,廠房本身構(gòu)件的機(jī)械性共振,也是不可忽視的振源。 因
此,電子工程必須充分預(yù)計(jì)各種可能產(chǎn)生的振源,并采取必要的防振措施。
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(4) 防靜電要求
? ? ? 靜電對電子產(chǎn)品生產(chǎn)的危害主要是:破壞電子元器件的生產(chǎn),影響產(chǎn)品成品率,如MOS場效應(yīng)管
和MOS集成電路,其絕緣氧化層厚度非常薄,只要遇到100V電位差,就會引起介質(zhì)擊穿,導(dǎo)致器件損
壞;在微電子器件生產(chǎn)過程中,各種因素產(chǎn)生的靜電電壓,往往會超過電子器件對靜電的靈敏度范圍,
如果當(dāng)室內(nèi)相對濕度過低時(shí),可能產(chǎn)生一定的靜電電壓,使得產(chǎn)品損壞率上升;造成電子設(shè)備故障,
損壞設(shè)備內(nèi)部元器件;引起設(shè)備誤動作;由于靜電吸塵,影響設(shè)備通風(fēng)散熱,造成機(jī)械零件磨損,
影響使用壽命;產(chǎn)生電擊現(xiàn)象,危及操作人員安全,甚至?xí)鹑紵氨ㄊ鹿?;干擾電子計(jì)算機(jī)等
設(shè)備的正常工作。
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? ? ? 所以在電子工業(yè)生產(chǎn)過程中,如集成電路制造等生產(chǎn),對靜電防護(hù)有嚴(yán)格的要求,防靜電接地連接
必須安全可靠;有靜電防護(hù)的房間和設(shè)備,應(yīng)注意所有設(shè)備可導(dǎo)電的金屬外殼、各類金屬管道、外露的
金屬構(gòu)架等均應(yīng)作等電位聯(lián)結(jié),不應(yīng)有對地絕緣的孤立導(dǎo)體;靜電接地的連接線應(yīng)保證可靠連接,并宜
采用焊接或壓接。當(dāng)采用導(dǎo)電膠與接地線粘接時(shí),其按觸面積不宜小于20cm2;輸送超純氫氣、天然氣
等可燃介質(zhì)的管道,必須采取防靜電接地措施,露天的放空管應(yīng)該設(shè)置阻火器,并與周圍的建筑物和構(gòu)
筑物綜合考慮防雷措施。
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(5) 電磁環(huán)境和電磁屏蔽要求
? ? 在電子產(chǎn)品生產(chǎn)中,電磁環(huán)境和電磁屏蔽技術(shù)是電子工業(yè)生產(chǎn)過程的重要手段和措施,同時(shí)也是影
響產(chǎn)品生產(chǎn)的一個(gè)重要環(huán)境因素,一個(gè)符合要求的電磁屏蔽環(huán)境需要多專業(yè)的密切配合,包含:屏蔽
殼體(壁板)的安裝(焊接),濾波器、截至波導(dǎo)通風(fēng)窗的安裝等,都應(yīng)嚴(yán)格按照電磁屏蔽室工程施
工及驗(yàn)收規(guī)范的規(guī)定進(jìn)行;電磁屏蔽室的濾波器(含電源濾波器和信號濾波器),其衰減參數(shù)應(yīng)與電
磁屏蔽室的屏蔽性能一致。濾波器安裝前,必須將屏蔽室壁板與濾波器接觸面的油漆等影響導(dǎo)電性能
的物質(zhì)清除干凈,并在接觸面放置導(dǎo)電襯墊,用螺栓緊密固定,保證有良好的電氣接觸;屏蔽室的濾
波器應(yīng)在屏蔽殼體安裝完畢后和屏蔽室內(nèi)裝修前進(jìn)行安裝。進(jìn)出屏蔽室的線纜一般均應(yīng)經(jīng)過濾波器,
不宜通過濾波器的應(yīng)接入信號傳輸接口板。信號傳輸接口板的安裝應(yīng)按《電磁屏蔽室施工及驗(yàn)收規(guī)定》
(SJ 31470)的規(guī)定執(zhí)行;濾波器安裝完畢后,應(yīng)用電磁屏蔽檢漏儀進(jìn)行百分之百的檢漏檢查。濾波
器的屏蔽效能檢測應(yīng)由國家專門機(jī)構(gòu)組織實(shí)施,測試方法和要求應(yīng)符合《高效能電磁屏蔽室屏蔽效能
檢測方法》(GB 12190)的規(guī)定。檢測指標(biāo)應(yīng)滿足設(shè)計(jì)要求;電磁屏蔽室內(nèi)的電氣配線、綜合布線
、監(jiān)控及安全防范系統(tǒng)、消防監(jiān)控系統(tǒng)等專業(yè)施工應(yīng)在屏蔽殼體檢查合格后進(jìn)行,施工安裝中嚴(yán)禁
破壞屏蔽層。
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