發(fā)布時(shí)間:2023-07-16 21:43:49 人氣:3647
(2)單向流清潔室
單向流清潔室重要用于電子產(chǎn)業(yè)跟生物制藥生產(chǎn)的局部區(qū)域。環(huán)保工程特定為環(huán)境保護(hù)所做的工程,由于工業(yè)發(fā)展導(dǎo)致環(huán)境污染,而以某組設(shè)想目標(biāo)為依據(jù),應(yīng)用有關(guān)的科學(xué)知識(shí)和技術(shù)手段,通過(guò)一群人的有組織活動(dòng)將環(huán)境污染問(wèn)題去處理解決的一些工程。在生物醫(yī)藥產(chǎn)品生產(chǎn)中重要采取局部設(shè)置層流罩或沾染工作臺(tái)或生物保險(xiǎn)柜等來(lái)滿意產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的請(qǐng)求。在電子產(chǎn)業(yè)中的微電子產(chǎn)品或一些電子器件產(chǎn)品生產(chǎn)中須要一個(gè)房間或一條生產(chǎn)線,甚至數(shù)條生產(chǎn)線的重要工序均需設(shè)置在嚴(yán)于5級(jí)(100級(jí))的清潔室內(nèi),才干達(dá)到產(chǎn)品生產(chǎn)的請(qǐng)求。
目前超大范圍集成電路生產(chǎn)請(qǐng)求微粒把持粒徑0.1p
M、0.05um,達(dá)到1級(jí)或更嚴(yán)級(jí)別的請(qǐng)求、為此,無(wú)塵沾染工程中單向流清潔室的空間安排已從“單層”安排發(fā)展到“多層”安排(這里的“單層” “多層”與通常所說(shuō)的單層或多層廠房有所不同,因?yàn)檫@里“單層” “多層”均設(shè)有與工藝生產(chǎn)層相通的高低技巧夾層,為加以差別,將這里所敘述的“單層” “多層”增加符號(hào).”)。環(huán)保工程特定為環(huán)境保護(hù)所做的工程,由于工業(yè)發(fā)展導(dǎo)致環(huán)境污染,而以某組設(shè)想目標(biāo)為依據(jù),應(yīng)用有關(guān)的科學(xué)知識(shí)和技術(shù)手段,通過(guò)一群人的有組織活動(dòng)將環(huán)境污染問(wèn)題去處理解決的一些工程。
“單層”安排的單向流清潔廠房,在單向流清潔生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有高低技巧夾層,在上技巧夾層內(nèi)安排送風(fēng)管道、局部公用能源管線,萬(wàn)級(jí)沾染工程中通過(guò)設(shè)在頂棚上的高效過(guò)濾器向清潔生產(chǎn)區(qū)均勻送風(fēng);通過(guò)設(shè)在下技巧夾層的回風(fēng)地板回風(fēng)至空氣處理裝置。
供給清潔生產(chǎn)區(qū)所用的局部公用,能源管線、設(shè)備跟工藝生產(chǎn)用管線、設(shè)施等同層安排清潔生產(chǎn)區(qū)的鄰近處。這種空間安排的機(jī)動(dòng)性較差,當(dāng)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝或產(chǎn)品數(shù)量擴(kuò)大時(shí),進(jìn)行工藝平面安排調(diào)劑較為艱苦,須要較長(zhǎng)的技巧改革時(shí)光技巧改革用度增加。