發(fā)布時(shí)間:2023-09-05 21:45:41 人氣:3117
(一)清潔室之等級(jí)
世界各國(guó)均有自定規(guī)格,但普遍還是用美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多,以下僅就209D及209E跟世界上其它各國(guó)制訂標(biāo)準(zhǔn)作介紹與彼此比較。凈化等級(jí)塵粒最大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù),500,≥5μm塵粒數(shù)0,微生物最大允許數(shù)浮游菌/立方米5,沉降菌/皿1。
209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位,清潔室等級(jí)以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3….依此類推,配合國(guó)際公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化,M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)量字是以每破方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)量字以10的冪次方表示,取指數(shù)為之,若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。凈化等級(jí)塵粒最大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù),500,≥5μm塵粒數(shù)0,微生物最大允許數(shù)浮游菌/立方米5,沉降菌/皿1。 清潔網(wǎng)z:Wg1pj
美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D都以英制每破方英呎為單位,日本則是采取公制,即以每破方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等級(jí)為Class 1,最差則為Class 8,以每破方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方,取其指數(shù)而得。
(二)清潔室之定義
清潔室(Clean Room),亦稱為無(wú)塵室或清潔室?! 盖鍧嵤摇故侵笇⒁欢臻g范疇內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之沾染物消除,并將室內(nèi)之溫度、清潔度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流散布、噪音振動(dòng)及照明、靜電把持在某一須要范疇內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不管外在之空氣前提如何變更,其室內(nèi)均能俱有堅(jiān)持原來(lái)所設(shè)定請(qǐng)求之清潔度、溫濕度及壓力等機(jī)能之特點(diǎn)。
清潔室最重要之作用在于把持產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的清潔度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間咱們稱之為「清潔室」。
(三)清潔室控管之名目
1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。
2. 能避免微塵粒子之產(chǎn)生。
3. 溫度跟濕度之把持。
4. 壓力之調(diào)節(jié)。
5. 有害氣體之消除。
6. 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。
7. 靜電之防制。
8. 電磁煩擾防備。
9. 保險(xiǎn)因素之考慮。
10. 節(jié)能之考量。凈化等級(jí)塵粒最大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù),500,≥5μm塵粒數(shù)0,微生物最大允許數(shù)浮游菌/立方米5,沉降菌/皿1。