發(fā)布時間:2023-09-04 21:44:06 人氣:1176
術(shù)語:
在潔凈室設(shè)計規(guī)范GB50073-2001中,對潔凈室進(jìn)行了以下三種定義:
空氣竣工潔凈室試驗
設(shè)施已建成,全部電力連接和運行,但沒有生產(chǎn)設(shè)備、材料和人員。無菌車間大部分凈化廠房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠房都有嚴(yán)格的恒溫、恒濕的要求,不僅對廠房內(nèi)的溫、濕度有嚴(yán)格的要求,而且對溫度和相對濕度的波動范圍也有嚴(yán)格的要求。無塵車間目前級別最高的當(dāng)屬航天航空的航空倉,基本是屬于1級,屬于特殊領(lǐng)域,面積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產(chǎn)車間,物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。無塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。
靜態(tài) at-rest
該設(shè)施已經(jīng)完工,生產(chǎn)設(shè)備已在業(yè)主和工匠的同意下安裝和操作,但沒有生產(chǎn)人員。
動態(tài) operational
該設(shè)施處于規(guī)定的運行狀態(tài),具有指定人員并在商定的狀態(tài)下工作。
根據(jù)ISO14644,潔凈室試驗階段劃分如下:
檢測潔凈室的安裝(iq)
靜態(tài)潔凈室運行質(zhì)量檢測(OQ)
動態(tài)潔凈室測試性能認(rèn)證(PQ)
空潔凈室檢查(IQ)
檢查空的清洗室和安裝的設(shè)備是否符合設(shè)計,并至少檢查以下各點:
一、潔凈室設(shè)備組;
2.所有能量載體和過程介質(zhì)的供應(yīng)是否符合設(shè)計要求;
三。公用及輔助設(shè)備功能是否正常運行;
4、于是控制系統(tǒng)、監(jiān)視器、報警報警核實日期;
5、安裝質(zhì)量;
6.安裝過濾器的完整性;
7.電源和設(shè)備是否備份,包括空氣處理設(shè)備的風(fēng)量;
8、壓差;
9、氣流特性;
10。保持結(jié)構(gòu)的限制;
檢查循環(huán)空氣與室外空氣的比例是否符合設(shè)計要求;
12、表面潔凈度;
13、包內(nèi)是否有備件。
檢查HEPA過濾器的完整性非常重要,這對ISO6,ISO5和更高級的凈化設(shè)備尤其重要。應(yīng)檢查表面潔凈度和維護結(jié)構(gòu)的密封性。
靜電潔凈室檢測
這一階段的測試至少應(yīng)完成以下工作:
1.確認(rèn)潔凈區(qū)域劃分原則是否符合要求;
2.確定污染程度增加后潔凈室的自潔時間參數(shù);
三。測定溫度和相對濕度的穩(wěn)定性。
4、根據(jù)顆粒的數(shù)量來確定潔凈度水平;
5、確定壓差;
6.表面潔凈度應(yīng)根據(jù)所需部位的顆粒和微生物污染水平來確定;
7、確定照度;
8、確定噪聲級;
9.目視檢查氣流并使用必要的工具檢查換氣次數(shù);
10。將數(shù)據(jù)結(jié)果寫入書面文檔。