發(fā)布時(shí)間:2023-06-24 21:41:37 人氣:1307
無(wú)塵室測試規范
有關(guān)無(wú)塵室定義、建造、控制、管理等等的國際標準,在網(wǎng)絡(luò )上用?contamination control?搜尋,可以找到很多相關(guān)數據。的定義,最早是在美國聯(lián)邦標準209上出現,之后日漸普及并廣為半導體業(yè)與制藥業(yè)接受。在歐洲與日本,隨著(zhù)工業(yè)的日益發(fā)展,各國的版本也逐漸出現。到了90年代后期,產(chǎn)業(yè)界體認到若是無(wú)共同標準,就不能實(shí)現經(jīng)濟的全球化,于是有ISO-14644的產(chǎn)生。以下說(shuō)明無(wú)塵室的各種標準與規范。
1.Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) :美國聯(lián)邦標準209E,209的出版發(fā)行,是在1960年代,之后不斷改版以因應科技進(jìn)步與工業(yè)發(fā)展,版本從原始的209、209A,一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日,美國正式宣布廢止209E,改用ISO-14644,于是209E在書(shū)面上走入歷史。但是在產(chǎn)業(yè)界,除了部份的歐洲公司之外,美國、日本、臺灣、與中國大陸,都還沿用209E。微粒計數器的制造商,雖然都推出滿(mǎn)足公制計數法的新機型,但是要等舊機器完全淘汰,恐怕還要很長(cháng)時(shí)間,因此新規范ISO-14644還沒(méi)能取代209E。
2.SO-14644系列;美國政府為了推動(dòng)經(jīng)濟全球化,就很大方的放棄了自己的209E,改而推行全部使用公制的國際標準ISO-14644。14644系列有8個(gè)子題〈Part〉,稱(chēng)為14644-1,14644-2,一直到14644-8。整個(gè)系列涵蓋了等級定義、測試與監視的規范、測試的程序方法、設計與建造、操作、以及其它的有關(guān)設備等,范圍很廣。有些主題已經(jīng)定案,如Part 1和Part 2,有些只有初稿〈Draft〉,有些連初稿都還沒(méi)有,讀者可以到ISO或IEST的網(wǎng)站上訂購。
3.JIS B9920 (1989):日本的潔凈標準,規定無(wú)塵室中浮游粒子的濃度測定方式,及潔凈度的等級定義。
4.VDI 2083 (1993):德國的潔凈標準,規定潔凈度等級的定義方式,以及潔凈度的量測技術(shù)。
5.Gost-R 50766 (1995):俄國的潔凈標準,定義無(wú)塵室的分類(lèi)與一般需求。
以上是無(wú)塵室等級規定,與潔凈度量測的相關(guān)標準。另外有關(guān)無(wú)塵室污染控制〈也就是潔凈度控制〉,和環(huán)境控制〈如溫濕度、震動(dòng)噪音等〉,也有一些重要的測試規范,因為這些環(huán)境影響因素,都包含在無(wú)塵室性能測試的范圍之內。
1.IEST-RP-CC-006.2:這本有名的測試規范,目的就是為了補209的不足。209只有微粒量測,006 包括了風(fēng)速風(fēng)量、濾網(wǎng)泄漏、潔凈度、溫濕度、平行度、恢復率、粒子沉降測試、照度等。006 的第一版稱(chēng)為006-84-T,006.2是第二版?,F在由于 NEBB 的興起,0062已經(jīng)功成身退,逐漸消失了。
2.NEBB 無(wú)塵室測試規范第二版:這是目前最廣為流行的測試規范,提到無(wú)塵室認證,就非 NEBB 莫屬。NEBB 無(wú)塵室測試規范,可說(shuō)是IEST-0062的改良版,其測試涵蓋范圍差不多,但是測試程序更為清楚嚴謹,儀器使用也有詳細規定。因此 NEBB 無(wú)塵室測試規范的出現,解決了不少測試的爭議,也因此 NEBB 無(wú)塵室測試規范成功的成為產(chǎn)業(yè)標準。有關(guān) NEBB,請參照本站 NEBB。
3.ISO-14698 系列:14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三個(gè)子題,是有關(guān)無(wú)塵室里面生物污染的控制,目前都只有初稿。
每一種行業(yè),甚至每一家公司或工廠(chǎng),對無(wú)塵室的要求可能都不一樣。以上所列無(wú)塵室定義與無(wú)塵室測試規范,雖然以可滿(mǎn)足大部份廠(chǎng)商的需求,但是嚴格來(lái)講,這些規范也只是一個(gè)參考。各公司在訂定測試規格時(shí),應依照自己的制程需求,在上述規范里取出自己適用的部份,并要求供貨商與測試單位照辦,必要時(shí)可以酌情修改測試標準,才能真正滿(mǎn)足自己的需求。