發(fā)布時(shí)間:2023-10-04 21:44:47 人氣:2833
無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)是什么?無(wú)塵車間有什么標(biāo)準(zhǔn)?無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)有哪些?無(wú)塵車間空氣標(biāo)準(zhǔn),無(wú)塵車間空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn),下面就有為大家簡(jiǎn)單介紹下無(wú)塵車間的標(biāo)準(zhǔn)。凈化工程指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過(guò)程即可稱為凈化工程。凈化車間優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴(kuò)充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無(wú)塵工作臺(tái),提高潔凈室等級(jí)。潔凈車間一個(gè)應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè),(21世紀(jì))在電子信息、半導(dǎo)體、光電子、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用,并根據(jù)行業(yè)的精密與無(wú)塵要求,等級(jí)差別也較大。
無(wú)塵車間的空氣潔凈度是無(wú)塵環(huán)境中空氣中懸浮顆粒的含量。通常,當(dāng)空氣中的粉塵濃度較低時(shí),空氣潔凈度較高,而高斯的空氣潔凈度較低。根據(jù)懸浮粒子在空氣中的濃度,潔凈室內(nèi)和相關(guān)控制環(huán)境中的空氣潔凈度由每立方米空氣中允許粒子的最大數(shù)量決定。
過(guò)去,所有有關(guān)國(guó)家都制定了自己的標(biāo)準(zhǔn),但基本上參照了美國(guó)FS-209標(biāo)準(zhǔn)的各種版本,只有單位制度和命名方法發(fā)生了變化或改變。命名基本上可以分為兩類:
一種是由單位體積的空氣中的顆粒數(shù)等于或大于指定的顆粒尺寸直接命名或表示。該命名方法由US FS-209A~E版本表示,其指定的粒徑為0.5μm,空氣中為0.5。使用英寸pc / ft3直接命名μm粒徑的粒子濃度。
另一個(gè)是,空氣中每單位體積的顆粒數(shù)量大于或等于規(guī)定的顆粒尺寸,表示為10N,空氣潔凈度等級(jí)根據(jù)索引N命名。該術(shù)語(yǔ)由日本的jisb9920表示。規(guī)定粒徑為0.1微米,空氣中0.1微米粒徑的顆粒濃度命名為N級(jí)10N pc/m3。
經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)的國(guó)家和地區(qū)、科學(xué)技術(shù)發(fā)達(dá)的國(guó)家和地區(qū)有自己的空氣潔凈標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范,都規(guī)定了相應(yīng)的潔凈水平。1984年,中國(guó)頒布了《潔凈生產(chǎn)設(shè)計(jì)規(guī)范》,1996年對(duì)其進(jìn)行了重大修訂。1990年頒布了《凈室施工驗(yàn)收規(guī)范》,指導(dǎo)施工驗(yàn)收的重要文件。代碼正在修改中。
每立方米空氣中大于5.m的灰塵顆粒數(shù)為1001000“35 * 1000(”250( 10000“35 * 10000(”2500( 100000“35 * 100000(”25000(美國(guó)潔凈度等級(jí))
國(guó)際單位英語(yǔ)單位mftmftmftmfttm1.0
3509.9175.72.1430.90.875100.283/m1.51124035.0265.0550.5106335.31//m2
350099.175721.43098.751002.83//M51012400350.026507510603035310//M3.0
35000991.07570214309087.5100028.3 // // M3.5100 // 26500750106003003530100 M4.0
// 7570021403090087510000283//M4.51000//3530010002477M5.0
/////100000283061817.5 m 5.510000/////3530000002470m 6.0
/1000000283006180175M6.5100000/353000010000024700700M7.