發(fā)布時(shí)間:2023-09-02 21:44:06 人氣:3752
潔凈室的檢測技巧
核心提示:1。凈化工程指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過程即可稱為凈化工程。潔凈車間一個(gè)應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè),(21世紀(jì))在電子信息、半導(dǎo)體、光電子、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用,并根據(jù)行業(yè)的精密與無塵要求,等級差別也較大。無菌車間大部分凈化廠房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠房都有嚴(yán)格的恒溫、恒濕的要求,不僅對廠房內(nèi)的溫、濕度有嚴(yán)格的要求,而且對溫度和相對濕度的波動范圍也有嚴(yán)格的要求。供氣量和排氣量2.區(qū)域之間的氣流控制3.過濾器泄漏檢測4.隔離泄漏檢測5.室內(nèi)氣流控制6.懸浮顆粒濃度和微生物濃度
1。送風(fēng)量和排風(fēng)量:如果是湍流潔凈室,則需要測量送風(fēng)量和排風(fēng)量。如果是單向流動的潔凈室,應(yīng)測量風(fēng)速。
2、區(qū)與區(qū)之間的氣流控制:為了證明區(qū)與區(qū)之間的氣流方向正確,即從潔凈區(qū)到潔凈差的地區(qū),必須檢測:每個(gè)區(qū)間的壓力差是正確的;在門或墻的開口、地板等處,氣流方向是正確的,即從潔凈區(qū)域到潔凈較差的區(qū)域。
3.過濾器泄漏檢測:檢查高效過濾器及其外框,確保懸浮污染物不會通過:損壞的過濾器;過濾器與外框之間的間隙;過濾器單元的其他部分進(jìn)入腔室。
4.隔離泄漏檢測:該測試用于證明懸浮污染物不會通過建筑材料滲透到潔凈室。
5。室內(nèi)氣流控制:氣流控制試驗(yàn)的類型取決于潔凈室的氣流流型是湍流的還是單向的。如果潔凈室的氣流是湍流的,則需要確認(rèn)潔凈室內(nèi)沒有氣流不足。如果是單向流潔凈室,必須驗(yàn)證整個(gè)房間的風(fēng)速和風(fēng)向符合設(shè)計(jì)要求。
6、懸浮粒子濃度和微生物濃度:如果上述測試符合要求,那么最終測量出粒子濃度和微生物濃度,以確認(rèn)它們符合潔凈室設(shè)計(jì)的技術(shù)條件。